Фосфоран является важным легированным источником n-типа в производстве полупроводниковых устройств, а также используется в химическом осаждении поликремния из паровой фазы, эпитаксиальном материале GaP, процессе ионной имплантации, процессе MOCVD, производстве пассивирующей пленки из фосфорно-кремниевого стекла (PSG) и других процессах.
Смешивание
Химическое название | фосфин | водород |
Номер CAS | 7803-51-2 | 1333-74-0 |
№ ООН | 1954 |
Сигнальное слово: Опасно
Физические и химические свойства
Физическое состояние: газ.
Внешний вид: Бесцветный.
Запах: отталкивающий.
Порог запаха: 0.51 промилле (PH3)
Температура самовоспламенения: 38 °C / 100 °F (фосфин)
Смертельный при вдыхании
Вызывает серьезные ожоги кожи и повреждение глаз
Чрезвычайно огнеопасный газ
Улавливает огонь спонтанно, если он подвергается воздействию воздуха
Содержит газ под давлением; может взорваться при нагревании
Может образовывать взрывоопасные смеси с воздухом
Симптомы могут быть отложены
Беречь от тепла, искр, открытого огня, горячих поверхностей.
Не курить
Не вдыхайте газ.
Использовать и хранить только на открытом воздухе или в хорошо проветриваемом месте
Носите защитные перчатки, защитную одежду, средства защиты глаз, средств защиты органов дыхания и/или средства защиты лица.
Используйте устройство предотвращения обратного потока в трубопроводе
Используйте оборудование, продутое инертным газом или вакуумированное перед выпуском из баллона.
Используйте только с оборудованием, изготовленным из совместимых материалов и рассчитанным на давление в баллоне.
Не открывайте клапан, пока он не будет подключен к оборудованию, подготовленному к использованию.
Закрывайте вентиль после каждого использования и при опорожнении
При возврате баллона установите герметичную выпускную крышку клапана или заглушку.
Защищайте от солнечных лучей, если температура окружающей среды превышает 52°C/125°F.
Хранить в прохладном, сухом, хорошо проветриваемом помещении из негорючего материала вдали от сильно
зоны движения и аварийные выходы.
Хранить при температуре ниже 52°C / 125°F.
Баллоны следует хранить в вертикальном положении с надетым на клапан защитным колпачком и надежно закрепить его во избежание падения.
Полные и пустые баллоны должны быть разделены.
Используйте систему инвентаризации «первым поступил — первым вышел», чтобы предотвратить хранение полных баллонов в течение чрезмерного периода времени.
Хранящиеся контейнеры следует периодически проверять на предмет общего состояния и наличия утечек.
Предпочтение отдается отдельному или открытому хранению.
Copyright © Jinhong Gas Co., Ltd. Все права защищены. - Политика конфиденциальности |Условия и положения