Силаны представляют собой соединения кремния и водорода, включая моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) и некоторые кремний-водородные соединения более высокого порядка. Среди них моносилан является наиболее распространенным, а моносилан иногда называют силаном. Силан — бесцветный, реагирующий с воздухом и удушающий газ.
Силан используется в производстве специальных стекол для создания отражающего покрытия.
Силан является одним из основных материалов в кремниевой полупроводниковой промышленности. Он используется в качестве источника кремния для выращивания поликристаллического и эпитаксиального (монокристаллического) кремния, диоксида кремния, нитрида кремния и легирования арсенида галлия. Силан также используется в качестве легирующей примеси в производстве сложных полупроводниковых устройств, для химического осаждения из паровой фазы силицидов тугоплавких металлов и для осаждения аморфного кремния на барабанах фотокопировальных машин.
Силан также используется в производстве фотогальванических элементов.
Силан используется в процессе производства оптических волокон.
Copyright © Jinhong Gas Co., Ltd. Все права защищены. - Политика конфиденциальности |Условия и положения