Октафторциклобутан имеет стабильные химические свойства, нетоксичен и безвреден, обладает низким значением потенциала глобального потепления (ПГП) и нулевым значением индекса истощения озонового слоя (ОРП). Это зеленый и экологически чистый специальный газ. Благодаря этим хорошим свойствам октафторциклобутан в последние годы широко используется в технических областях, таких как высоковольтная изоляция, очистка и травление, а также плазменная обработка.
октафторциклобутан может быть получен димеризацией тетрафторэтилена путем пиролиза, тушения, фильтрации, прессования и т.д.; Октафторциклобутан можно также получить электролизом тетрафторциклобутана в безводной среде. Гидрирование фтор. Контакт сырого октафторциклобутана, содержащего примеси, с агентом, разлагающим примеси, при высокой температуре, а затем контакт с адсорбентом может существенно удалить примеси, такие как фторуглероды, и получить октафторциклобутан высокой чистоты.
| Газовый | октафторциклобутан |
| Номер CAS | 115-25-3 |
| чистота | ≥ 99.9% |
Октафторциклобутан также широко используется при травлении поверхностей полупроводников. В качестве фторуглеродного плазменного травильного газа более высокого уровня его можно использовать в сочетании с фторуглеродами более низкого уровня, такими как монофторметан и дифторметан, что может значительно улучшить эффект травления.
Октафторциклобутан имеет низкое значение ПГП (8900, всего 37% SF6), а продуктами разложения под действием дуги являются фторуглероды, которые являются нетоксичными или малотоксичными веществами и обладают определенной изолирующей дугогасящей способностью.
В соответствии с химическими свойствами октафторциклобутана его также можно использовать в качестве основного сырья для других химических продуктов.
Copyright © Jinhong Gas Co., Ltd. Все права защищены. - Политика конфиденциальности |Условия и положения
EN 
AR
DE
ES
FR
FA
HI
JA
PT
RU
TR
UR
