Химическая формула трифторида азота — NF₃. Это бесцветный газ без запаха, стабильный при нормальной температуре. Это сильный окислитель. Трифторид азота высокой чистоты обладает отличной скоростью травления и селективностью, а также является очень хорошим чистящим средством. Jinhong может предоставить вам газообразный трифторид азота высокой чистоты для улучшения вашего полупроводникового процесса.
Азот трифторид получают прямым фторированием аммиак. Его также можно получить электролизом расплавленного бифторида аммония или прямым соединением элементов азота и фтора с использованием электрического разряда при низких температурах.
| Газовый | Трифторид азота |
| Номер CAS | 7783-54-2 |
| чистота | 99.999% |
Трифторид азота используется в качестве высокоскоростного селективного травителя при обработке кремния. Он использовался для травления кремния, поликремния, нитрида кремния и оксида кремния, а также тугоплавких металлов и силицидов.
Трифторид азота иногда используется в качестве источника фтора в химических лазерах HF/DF. Трифторид азота используется в качестве фторирующего агента. Трифторид азота также используется для обработки волокна.
Copyright © Jinhong Gas Co., Ltd. Все права защищены. - Политика конфиденциальности |Условия и положения
EN 
AR
DE
ES
FR
FA
HI
JA
PT
RU
TR
UR
